LABORATORIUM SKANINGOWEJ MIKROSKOPII ELEKTRONOWEJ (L-4)

Posiadane uprawnienia:

Zakres akredytacji Laboratorium Badawczego Nr AB 120

wydany przez

Polskie Centrum Akredytacji

 

Kierownik laboratorium:

       dr hab. inż. Marek Faryna, prof. ndzw. IMIM PAN ( Adres poczty elektronicznej jest chroniony przed robotami spamującymi. W przeglądarce musi być włączona obsługa JavaScript, żeby go zobaczyć. )

WykonujÄ…cy badania:
                                    dr inż. Anna Rakowska

       dr inż. Anna Sypień

       dr Joanna Wojewoda-Budka

       mgr inż. Anna Janus

 

Adres:

Instytut Metalurgii i Inżynierii Materiałowej

im. Aleksandra Krupkowskiego

Polskiej Akademii Nauk,

ul. Reymonta 25, 30-059 Kraków

tel: (12) 295 28 00, fax: (12) 295 28 04,

e-mail: Adres poczty elektronicznej jest chroniony przed robotami spamującymi. W przeglądarce musi być włączona obsługa JavaScript, żeby go zobaczyć.  

 

Laboratorium posiada dwa mikroskopy elektronowe:

1. Skaningowy mikroskop elektronowy FEI E-SEM XL30 wyposażony w spektrometr dyspersji energii promieni X EDAX GEMINI 4000

Charakterystyka mikroskopu:

- punktowa zdolność rozdzielcza: 3.5 nm 30 kV, 30 nm przy 1kV;

- zakres zmian napięcia przyspieszającego: od 200 V do 30 kV;

- zakres powiększeń: od 10x do 500.000x dla WD = 10 mm

- zakres zmian ciśnienia gazu: od 0 do 20 Torr;

- detekcja elektronów wtórnych oraz wstecznie rozproszonych (w systemie COMPO i TOPO).

Przeznaczony jest do obrazowania powierzchni próbek znajdujących się w środowisku kontrolowanej próżni.

Charakterystyka spektrometru: Spektrometr EDXS Genesis 4000 firmy EDAX, wyposażony w detektor Si(Li) z okienkiem SUTW o zdolności rozdzielczej ≤133; detekcja wszystkich pierwiastków od boru wzwyż. System EDAX kontroluje wiązkę elektronową w mikroskopie E-SEM XL30 celem akwizycji obrazów i map prom. rtg. poprzez własny generator skanowania.

Zestaw E-SEM+EDXS przeznaczony jest do elementarnej analizy jakościowej i ilościowej w mikroobszarach zarówno dielektryków i materiałów organicznych, jak również próbek przewodzących.

2. Skaningowy mikroskop elektronowy PHILIPS XL30 oraz spektrometr dyspersji energii promieni X LINK ISIS, Oxford Instrument.

Skaningowy mikroskop elektronowy XL30 firmy Philips Electron Optics jest urządzeniem przeznaczonym do badań morfologii powierzchni ciał stałych. Punktowa zdolność rozdzielcza wynosi odpowiednio: 3.5 nm przy napięciu przyspieszającym wiązkę elektronową 30 kV i 30 nm przy 1 kV. Zakres zmian napięcia przyspieszające: od 0.2 do 30 kV. Zakres powiększeń: od 10x do 400.000x.

Mikroskop umożliwia detekcję niskoenergetycznych elektronów wtórnych oraz wysokoenergetycznych elektronów wstecznie rozproszonych (w systemie COMPO i TOPO). Software jest w pełni kompatybilny z programami aplikacyjnymi Microsoft Windows.

Stolik goniometryczny o zakresie przesuwu osi: X = 50 mm, Y = 50 mm, rotacji 360^oC, pochyle: –15^o + 80^o i zakresie pracy wzdłuż osi Z (FWD – Free Working Distance) od 4 do 37 mm.

Mikroskop wyposażony jest w spektrometr dyspersji energii promieniowania rentgenowskiego LINK firmy Oxford Instruments, o energetycznej zdolności rozdzielczej 138 eV, którego zasadniczym elementem jest detektor Si(Li) Pentafet z okienkiem Super Ultra Thin Window, szczególnie przydatnym do analizy pierwiastków lekkich. Oprogramowanie spektrometru również pracuje w systemie Microsoft Windows.

Zestaw SEM - EDXS umożliwia analizę jakościową i ilościową w mikroobszarach, z pierwiastkami lekkimi włącznie od boru poczynając; do dyspozycji pozostaje analiza punktowa, liniowa (tzw. linescan) i powierzchniowa (tzw. mapping).

Przygotowanie próbek do badań

Laboratorium wykonuje badania na próbkach dostarczonych przez Klienta. W trakcie uzgadniania warunków wykonania zamówienia Klient zostaje poinformowany o wymaganiach dotyczących próbek, sposobu ich przygotowania do badań.

Wymiary próbek wynoszą max: D (średnica) = 50 mm, Z (wysokość) = 35 mm. Masa próbek nie powinna przekraczać 250 g.

Próbki umieszcza się na powierzchni specjalnie do tego celu przygotowanych podstawek przyklejając do podłoża klejem węglowym albo węglową taśmą przewodzącą.

Zainteresowanych współpracą z Laboratorium L-4 uprzejmie prosimy jest o kontakt z Kierownikiem Laboratorium L-4:

doc. dr hab. inż. Marek Faryna

tel: (0-12) 295 28 28

e-mail: Adres poczty elektronicznej jest chroniony przed robotami spamującymi. W przeglądarce musi być włączona obsługa JavaScript, żeby go zobaczyć.

Przykłady badań prowadzonych skaningowym mikroskopie elektronowym PHILIPS XL30

Obraz powierzchni krzemu porowatego, elektrony wtórne, pow. 16.000x

Analiza jakościowa i ilościowa po korekcji ZAF eutektyki w stopie TiZrAgCuNi.

Przykłady zdolności rozdzielczej	Przykłady obrazów SE	Przykłady obrazów BSE

Adres poczty elektronicznej jest chroniony przed robotami spamującymi. W przeglądarce musi być włączona obsługa JavaScript, żeby go zobaczyć.